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    LED步進式光刻機

    LED步進式光刻機

    產品特點 適用於4-6英寸基底LED矽晶片/藍寶石晶片生產中的光刻工藝，採用超大曝光視場，大大減少曝光次數，顯著提高產能；同時該設備具有高解像度、高線寬均勻性等特點。 

    產品應用

    應用範圍：LED晶圓。

    產品參數

    主要參數加工尺寸4」、6「晶圓
    加工速度4", 137pcs/h
    6", 110pcs/h
    加工精度解像度2μm L/S
    平台參數定位精度
    X: ±200nm
    Y: ±200nm
    Z: ±350nm
    Rx Ry Rz：10urad
    激光器參數光源：2000W UV Lamp，波長365nm
    感光區域：53*38.5mm
    工作照度：>550mW/cm2(New lamp)
    光源均勻度：≤3%
    Tact time4」：43.1秒(第一片)，循環TT 25.6秒
    6」：49.1秒(第一片)，循環TT 31.6秒
    稼動率>95%


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